硅片采用的磨料主要为金刚砂，因为其莫氏硬度表为9.5，仅次于金刚石，且导热性良好，高抗氧化能力。如今研磨液的悬浮、分散性能并没有完全满足生产需要，若使用性能不佳的研磨液在研磨过程中造成较为严重的切片磨损与缺陷，就会对后续加工程序产生非常不利的影响，甚至造成晶片损坏，影响生产效率造成重要损失。

良好的研磨液应该是悬浮性好，分散均匀，PH值粘度适中。如果研磨液性能不佳，就会导致磨料与磨盘的接触不均匀，进而造成应力不均，出现碎片，划伤等严重影响硅片平整度的问题。要想得到稳定分散的研磨液，就必须控制体系中zeta电位绝对值处于一个较高的位置。

分散剂与活性剂的加入对金刚砂悬浮性的影响。

分散剂的作用是减少分散体系中各种粒子的聚集程度，在制备金刚砂悬浮分散体系时加入分散剂可以增大体系的分散悬浮性并保持体系的相对稳定。分散剂对金刚砂磨料分散作用的机理是它吸附在颗粒表面，从而增大粒子表面电位，进而增大相互之间的排斥作用，颗粒表面必须达到一定的吸附量才能使磨料体系稳定存在，所以分散剂的加入量有一个最佳值，加入太多货加入不足都会影响磨料的悬浮分散性。

选用合适的分散剂把研磨液的分散性与悬浮稳定性调整到最佳状态，才能发挥出研磨液最佳作用。

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